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瑞士科学家确定了电力电子碳化硅中缺陷的原因

时间:2021-10-09 14:16:54 来源:

碳化硅逆变器尚未实现大规模的商业化生产。

©Raimond Spekking / CC BY-SA 4.0

巴塞尔大学的科学家声称已经确定了电力电子中使用的碳化硅(SiC)的低界面迁移率的原因。

研究人员声称,有证据表明碳簇附近的热栅氧化物会影响SiC-MOSFET纸中的电子能带结构,研究人员声称发现了独特的证据,表明影响SiCs耐热性的缺陷归因于纳米级碳簇。在高温下将碳化硅氧化为二氧化硅。

研究人员使用原子力显微镜(AFM)分析和拉曼光谱法来定位缺陷的产生位置,并发现缺陷在氧化过程中发生在界面附近。“ AFM和拉曼光谱,以及广泛的最新原子模拟,进一步洞察了作为这些团簇的根本原因的天然SiC氧化及其对工艺参数,HF(氢氟酸)和臭氧蚀刻的依赖性”。

积累影响


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