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大势已去!传台积电计划年底关闭部分EUV光刻机

时间:2022-09-06 16:16:11 来源: OFweek光通讯网

近日,有消息称,台积电计划将于年底关闭部分EUV光刻机。

大势已去!传台积电计划年底关闭部分EUV光刻机

何为EUV光刻机?

相关资料显示,光刻机是芯片制造过程中不可或缺的重要设备。越高端的芯片,其对光刻机的要求也就越高。比如,生产7nm及以下的芯片,必须要用到EUV光刻机。而目前能够生产EUV光刻机的厂商只有一家,那就是光刻机制造商阿斯麦(ASML)。

随着半导体技术的发展,光刻的精度不断提高,已由微米级、亚微米级、深亚微米级,细化到当前的纳米级,曝光光源的波长也由436纳米(G线)、365纳米(Ⅰ线),发展到248纳米(KrF)、193纳米(ArF),再到13.5纳米(EUV)。

EUV是线宽突破10纳米,甚至之后的7纳米、5纳米、3纳米工艺的关键。而在摩尔定律不断挑战物理极限的当下,半导体先进工艺领域的竞争形势,用“得EUV者得先进工艺”来形容并不为过。

其中,最受瞩目的就是台积电和三星这两大巨头。他们都完成了4nm芯片的量产,且预计在2022年期间还能取得3nm工艺的量产进步,持续向着摩尔定律的极限发起挑战。也是这个原因,EUV正在成为半导体巨头在先进工艺领域争夺优势地位的焦点。

而其他的各大芯片制造商也都在加紧采购光刻机,比如中芯国际,先是与ASML确定了价值12亿美元的采购协议,然后是将原定于2021年年底到期的协议时间延长至2022年。

骑虎难下,台积电欲关停光刻机很无奈

由于ASML几乎垄断了中高端光刻机80%以上的市场,这也导致了EUV光刻机拥有不菲的售价。据悉,一台EUV光刻机的售价将近2亿美元,而新一代EUV光刻机的售价更是高达4亿美元。但即便售价如此高昂,也阻挡不了台积电、三星等芯片大厂积极抢购。

花了如此昂贵的价格采购回来的EUV光刻机却面临关停的局面,有网友调侃道还不如卖给中芯国际,台积电或许也相当无奈……

一方面,台积电计划关停EUV光刻机是为了减少电费开支。有网友指出,台湾的电费为2.8元新台币,而台积电一家企业,仅一台EUV光刻机每天就要用掉3万度电。按此计算的话,全年则需要消耗1千万度电。

据悉,目前台积电大约拥有80台EUV光刻机,那么一年就要用掉8亿度电。而过去几年间,台湾经历过数次全岛大停电;另有数据显示,2021年台积电实际用电量已接近170亿度,占全台湾用电量的8%左右。这对于资源本就有限的台湾来说,绝对是一个不小的压力。

而另一方面,台积电此举也是为了调节供需平衡。此前“缺芯潮”席卷全球,许多芯片厂商为了满足客户需求,并且快速抢占市场而大幅扩产。但今年以来,消费电子市场需求明显下滑,不少芯片厂商遭到客户砍单,甚至连台积电亦难以幸免。

考虑到具体的3nm客户情况,以及当前台湾供电情况,台积电不得不计划要关掉部分EUV光刻机,以减少巨大的电费开支。相关分析师认为,此举或将间接影响台积电业绩。


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